當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 二手翻新設備 >
產(chǎn)品分類
Product Category1、Nikon SF120/130步進式光刻機 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.28µm 主要用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線 廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術指標 分辨率0.28µm N.A.0.62 曝光光源365nm 倍率4:1 最大曝光現(xiàn)場25mm*33mm 對準精度LSA:40nm FIA:45nm
1、Nikon NSR 2205i14E步進式光刻機 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.35µm 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線, 廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術指標 分辨率0.35µm N.A.0.63 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場22mm*22mm 對準精度 LSA:55nm FIA:65nm
1、Nikon NSR 2205i12D步進式光刻機 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.4µm 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線 廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術指標 分辨率0.4µm N.A.0.63 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場 22mm*22mm 對準精度 LSA:60nm FIA:70nm
1、Nikon NSR 2205i11D步進式光刻機 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.4µm 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線 廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術指標 分辨率0.4µm N.A.0.63 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場22mm*22mm 對準精度 LSA:75nm FIA:80nm
1、Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.45µm 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線 廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術指標 分辨率0.45µm N.A.0.57 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場20mm*20mm 對準精度 LSA:100nm FIA:110nm
1、Nikon NSR 2005i9C步進式光刻機 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.45µm 用于2寸、4寸、6寸、8寸生產(chǎn)線 廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術指標 分辨率0.45µm N.A.0.57 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場20mm*20mm 對準精度 LSA:120nm FIA:130nm