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MPI探針臺(tái)

簡要描述:VEGA系列概述
MPI VEGA 探針系列已準(zhǔn)備好滿足激光二極管(VCSEL、EEL)和光學(xué)模塊市場的各種測試和材料處理要求。

  • 產(chǎn)品型號:VEGA系列
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 348

詳細(xì)介紹

1 產(chǎn)品概述:

      探針臺(tái)是一種精密的電子測試設(shè)備,主要用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。它集成了載物臺(tái)、光學(xué)元件、卡盤、探針卡、探針夾具及電纜組件等多個(gè)部分,能夠確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,從而進(jìn)行高精度的電氣測量。探針臺(tái)根據(jù)操作方式可分為手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)三種類型,每種類型都有其特定的應(yīng)用場景和優(yōu)勢。

2 設(shè)備用途:

探針臺(tái)的主要用途包括:

  1. 半導(dǎo)體測試:在晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),探針臺(tái)負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試,實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。它廣泛應(yīng)用于晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。

  2. 光電行業(yè)測試:在光電行業(yè)中,探針臺(tái)同樣用于測試光電元件和組件的性能,確保產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。

  3. 集成電路測試:探針臺(tái)可用于集成電路的測試,包括功能測試、電參數(shù)測試等,幫助工程師評估和優(yōu)化集成電路的性能。

  4. 封裝測試:在封裝工藝之前,探針臺(tái)可以對封裝基板進(jìn)行測試,確保封裝過程中不會(huì)出現(xiàn)質(zhì)量問題。

3 設(shè)備特點(diǎn)

探針臺(tái)具有以下顯著特點(diǎn):

  1. 高精度:探針臺(tái)配備高精度的定位系統(tǒng)和微調(diào)機(jī)構(gòu),能夠精確地將探針定位到芯片上的測試點(diǎn),并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的接觸,確保測試的準(zhǔn)確性和可靠性。

  2. 多功能性:探針臺(tái)可用于多種測試場景,包括晶圓檢測、芯片研發(fā)、故障分析、網(wǎng)絡(luò)測量等,具有廣泛的應(yīng)用范圍。

  3. 自動(dòng)化程度高:全自動(dòng)探針臺(tái)通常配備有晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)、模式識別(自動(dòng)對準(zhǔn))等功能,能夠自動(dòng)完成測試序列,減少人工干預(yù),提高測試效率。

  4. 靈活性:探針臺(tái)可根據(jù)測試需求進(jìn)行配置和調(diào)整,如可選配接入光纖,將電學(xué)探針替換為光纖,提高測試靈活性。

VEGA 頂部探針 (TP) 系列主要特點(diǎn)

  • 端溫度測試能力(-40° +200°C)。

  • 高性能裝載機(jī)系統(tǒng)可輕松處理各種設(shè)備類型,如薄/翹曲晶圓、普通晶圓、襯底、封裝或其他設(shè)備。

  • 多種光學(xué)/檢測器選擇,可滿足您測試 LIV、近場和遠(yuǎn)場光學(xué)特性的確切需求。

  • 可選的接觸機(jī)構(gòu)選項(xiàng)包括:探針卡座      (PCH)、楔形探針卡和 MPI F1 單探針模塊,可實(shí)現(xiàn)高精度測量。

  • MPI      探針臺(tái)控制軟件提供全面的控制功能,從基本的晶圓對準(zhǔn)、映射、探針標(biāo)記檢測到部署 MPI      先進(jìn)的針對準(zhǔn)機(jī)構(gòu) (NAM) 技術(shù)。

  • MPI      光子學(xué)測試系統(tǒng)采用以用戶為中心的設(shè)計(jì),可根據(jù)您的測試要求靈活配置和編程。


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