當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 1 光刻設(shè)備 > AS8噴涂膠機(jī)
簡要描述:在噴涂法中,噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經(jīng)過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動(dòng)路徑可以實(shí)現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。 噴涂所用的液體通常粘度極低,以確保形成細(xì)小的液滴
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
1.產(chǎn)品介紹:
AS8適用于崎嶇表面的手動(dòng)噴霧涂膠機(jī),AS8涂膠機(jī)可以滿足實(shí)驗(yàn)室和試產(chǎn)環(huán)境下常用工藝的需要,對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工,都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機(jī)也可用于生產(chǎn)環(huán)境。
2.產(chǎn)品優(yōu)勢:
跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術(shù)
頂部邊緣覆蓋的保形涂膠,且能避免溝槽中堆膠。
噴霧設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)工藝穩(wěn)定性與重復(fù)性的優(yōu)化
基板尺寸最大直徑為200 mm,方形基板最大邊長為 6"
最多可有2個(gè)獨(dú)立的噴霧噴膠系統(tǒng),以避免交叉污染
帶有MMC控制器軟件的觸摸屏
全部工藝參數(shù)可在工藝菜單中編程
產(chǎn)品咨詢