一、產(chǎn)品概述：

半導體參數(shù)測試儀是一種專門用于測量和分析半導體器件電氣特性的測試設備。該儀器能夠評估器件的電流-電壓（I-V）特性、容量、泄漏電流和其他關鍵參數(shù)，廣泛應用于半導體制造和研發(fā)領域。

二、設備用途/原理：

·設備用途

半導體參數(shù)測試儀主要用于測試各種半導體器件，如二極管、晶體管和集成電路。工程師可以利用該儀器進行器件特性分析、故障排查和性能評估，以確保半導體產(chǎn)品的質量和可靠性。

·工作原理

半導體參數(shù)測試儀通過施加已知的電壓并測量相應的電流來工作。儀器內(nèi)部使用高精度的模數(shù)轉換器（ADC）和數(shù)字信號處理技術，實時記錄和分析I-V曲線。用戶可以設置不同的測試條件，如掃頻、階梯測試等，生成詳細的測試報告，幫助用戶深入了解器件的電氣特性和性能表現(xiàn)。

三、主要技術指標：

1. 配備集成電腦及顯示屏一體機箱，包含高精度電流測量模塊、電容測量模塊、超快脈沖模塊，配合用數(shù)據(jù)測量分析軟件，無需外接其他儀表即可實現(xiàn)I-V曲線，I-t曲線，C-V曲線及C-f曲線的測量并能在屏幕實時顯示測量結果

2. 電流測量精度≤0.1 fA，小可測量電流≤20 fA

3. 大電流測量量程≥0.1 A，大輸出功率≥2 W

4. 電流測量精度10 fA時，電流表的短采樣時間間隔100 μs

5. I-V特性測試及C-V特性測試切換時，無須更改電路

6. 實現(xiàn)不同頻率交流阻抗測量（C-V、C-f、C-t） 的測量，頻率范圍1 kHz-5 MHz，小頻率步進≤1 mHz

7. 電容測量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF（5 MHz）

8. 電容測量范圍5 fF-1 nF，電壓0至±25V，步進≤1 mV

9. 具有脈沖輸出及采集模塊，脈沖輸出電壓峰值10 V

10. 脈沖采樣大采樣率≥200 MSa/s，小采樣時間5 ns

11. 具有瞬態(tài)波形捕獲模式

12. 具有任意波形發(fā)生器，支持多電平脈沖波形，可編程分辨率10 ns