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簡要描述:中央供藥系統(tǒng)簡介:1.用于廠內(nèi)供藥,通過該系統(tǒng)可以按照設(shè)定的配比,將特定的藥液通過相應(yīng)的管路供應(yīng)到制程中。2.該系統(tǒng)供藥配比精確,配方可根據(jù)客戶需要進(jìn)行編輯確認(rèn),容量大小根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制。
產(chǎn)品分類
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1. 產(chǎn)品概述:
智程中央供藥系統(tǒng)是用于廠內(nèi)供藥的設(shè)備,能夠按照設(shè)定的配比,將特定的藥液通過相應(yīng)的管路供應(yīng)到制程中。它可以精確地控制藥液的輸送和配比,確保生產(chǎn)過程中使用的藥液符合工藝要求。
2. 設(shè)備應(yīng)用:
· 半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,為各種清洗、蝕刻、沉積等工藝提供精確配比的化學(xué)藥液,如酸性(H?SO?、HCl、HNO?、H?PO?、HF、BOE 等)、堿性(NH?OH、NaOH、KOH 等)、有機(jī)(IPA、ACE、去膠、去蠟等)以及拋光液(金剛石拋光液、化學(xué)拋光液等。
· LED 光電行業(yè):為 LED 芯片的制作過程提供所需的化學(xué)藥液供應(yīng),助力提升 LED 產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
· 電子行業(yè):在電路板制造等電子制造環(huán)節(jié)中,提供精確的化學(xué)藥液供應(yīng),保障生產(chǎn)工藝的順利進(jìn)行。
3. 設(shè)備特點(diǎn):
· 供藥配比精確:能夠嚴(yán)格按照設(shè)定的比例進(jìn)行藥液調(diào)配,確保藥液濃度的準(zhǔn)確性,從而保證生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
· 配方可編輯:配方可以根據(jù)客戶的具體需求進(jìn)行編輯和確認(rèn),具有較高的靈活性,能滿足不同生產(chǎn)工藝對藥液配方的多樣化要求。
· 容量定制化:容量大小可根據(jù)客戶的實(shí)際需求進(jìn)行定制,適應(yīng)不同規(guī)模的生產(chǎn)場景,避免資源浪費(fèi)或供應(yīng)不足的情況。
· 自動化程度高:實(shí)現(xiàn)了自動供藥過程,減少了人工操作帶來的誤差和不確定性,提高了生產(chǎn)效率和供藥的及時性。
· 系統(tǒng)穩(wěn)定性強(qiáng):經(jīng)過精心設(shè)計和優(yōu)化,具備良好的穩(wěn)定性和可靠性,能夠在長時間的生產(chǎn)過程中穩(wěn)定運(yùn)行,降低設(shè)備故障對生產(chǎn)的影響。
4. 產(chǎn)品參數(shù):
· 供藥種類:涵蓋各種適用藥液,如不同類型的酸、堿、有機(jī)溶液和拋光液等。
· 配比精度:例如可精確到小數(shù)點(diǎn)后幾位的配比精度。
· 最大供藥流量:反映系統(tǒng)在單位時間內(nèi)能夠供應(yīng)的藥液最大量。
· 儲液罐容量:根據(jù)定制需求,儲液罐的容量有不同規(guī)格。
· 控制方式:如采用先進(jìn)的自動化控制系統(tǒng),具備精確的參數(shù)設(shè)置和監(jiān)控功能。
· 管路材質(zhì):使用適合輸送化學(xué)藥液的特殊材質(zhì)管路,確保藥液的穩(wěn)定性和安全性,同時具備良好的耐腐蝕性。
· 實(shí)際參數(shù)可能會因設(shè)備的具體配置和定制需求而有所不同。
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