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Product Category英思特長期致力于半導(dǎo)體等行業(yè)干濕制程設(shè)備、自動供/排液系統(tǒng)、甩干機等設(shè)備的設(shè)計、生產(chǎn)、銷售及設(shè)備的優(yōu)化。期待與您的合作!
批量晶圓處理等離子系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,其模塊化控制系統(tǒng)使用最新一代處理器,基于 Linux 平臺作為操作系統(tǒng),以及圖形用戶界面 (GUI)。因此,可支持手動和全自動控制過程,并且通過 MFC 控制過程氣體。在此過程中,所有參數(shù)都被寫入程序并存儲在數(shù)據(jù)庫中。與此同時,當(dāng)前的壓力值、氣體流量值、輸出值等都顯示在顯示屏上,如果當(dāng)前值偏離設(shè)定值,則會觸發(fā)相應(yīng)的警報。
去膠設(shè)備NA-1300系列 從關(guān)鍵的新世代晶圓制程到晶圓封裝,Luminous NA系列可對應(yīng)廣范圍的各類晶圓尺寸的各類工藝需求。