星型全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)

簡要描述：KS-S150星型全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導(dǎo)體的涂膠顯影等制程?？杉嫒菟{(lán)寶石、砷化鎵和碳化硅等材質(zhì)的晶圓，產(chǎn)品涉及多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域，涂膠機(jī)產(chǎn)能大于190片/小時(shí)。設(shè)備通過了CSA認(rèn)證。

產(chǎn)品型號：KS-S150
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2024-09-04
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1.產(chǎn)品概述：

KS-S150星型全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)是由沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司研發(fā)的勻膠顯影設(shè)備，用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導(dǎo)體的涂膠顯影等制程。可兼容藍(lán)寶石、砷化鎵和碳化硅等材質(zhì)的晶圓，產(chǎn)品涉及多個(gè)應(yīng)用域，涂膠機(jī)產(chǎn)能大于190片/小時(shí)。設(shè)備通過了CSA認(rèn)證。

2.應(yīng)用領(lǐng)域：

傳感器芯片制造

光通信芯片制造

功率芯片制造

LED芯片制造

圖形化襯底制造

化合物半導(dǎo)體域

3.產(chǎn)品優(yōu)勢：

1.占地小、穩(wěn)定性高、操作與維護(hù)方便；

2.產(chǎn)能高，涂膠機(jī)產(chǎn)能大于190片/小時(shí)；

3.光刻膠用量小，4寸用量0.6ml；

4.優(yōu)異的流場設(shè)計(jì)，涂膠均勻性好。

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