1. 產品概述

KS-S300全自動噴霧式涂膠機是一款創(chuàng)新型設備，通過超聲波技術將光刻膠霧化為微小顆粒，能夠在較大深寬比的圖形表面上以高分辨率均勻涂敷光刻膠。此技術的應用顯著增強了涂膠效果，使得光刻膠能夠有效覆蓋溝槽的側壁和邊緣，從而避免了在傳統涂膠方式中常見的溝槽內堆積現象。這種精確涂布不僅有助于提高成品的質量，也能顯著節(jié)省光刻膠的使用量，降低材料成本。

針對輕薄易碎的襯底，KS-S300特別設計了靜態(tài)噴霧式涂膠系統。通過在涂膠過程中避免高速旋轉，這種設計有效降低了襯底破裂的風險，從而保護了高價值的材料，確保生產過程的安全性和可靠性。

KS-S300的應用領域十分廣泛，包括半導體封裝、微機電系統制造（MEMS）及其他高科技領域。它不僅提升了工作效率，降低了材料浪費，還在精度和一致性方面滿足了嚴格的工業(yè)標準。此外，該設備已順利通過SEMI S2認證，進一步證明了其在安全性和質量控制方面的可靠性。

2. 產品優(yōu)勢：

旋流式錐形霧化可均勻覆蓋高深寬比臺階的邊緣和底部

旋轉加熱式承片臺有效節(jié)省光刻膠
承片臺靜態(tài)噴涂規(guī)避輕薄襯底碎片風險
噴嘴具備內外自動清洗功能

3. 應用域：

封裝
OLED域
MEMS