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簡要描述:全自動單軸減薄機是一款高精度、高效率的研削設備,專為半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域設計。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
1 產(chǎn)品概述:
全自動單軸減薄機是一款高精度、高效率的研削設備,專為半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域設計。該設備集成了全自動上、下片系統(tǒng),采用先進的晶圓機械手取片技術,結合自動對中、清洗、干燥功能,實現(xiàn)了從盒到盒、干進干出的全自動減薄拋光研削加工流程。全自動單軸減薄機以其性能和廣泛的應用領域,在現(xiàn)代精密制造領域中占據(jù)重要地位。
2 設備用途:
全自動單軸減薄機的主要用途包括:
半導體制造:在半導體制造過程中,對晶圓進行精確減薄,以滿足后續(xù)工藝對晶圓厚度的嚴格要求。
硅片加工:對硅片進行高精度研削,調(diào)整硅片厚度,提高硅片的質(zhì)量和加工效率。
光學材料處理:在光學材料制備過程中,對材料進行精確減薄,以滿足光學元件對材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。
薄膜材料制備:在薄膜材料制備領域,全自動單軸減薄機可用于對薄膜進行精確控制厚度的研削加工。
3. 設備特點
全自動單軸減薄機具有以下顯著特點:
高精度:采用先進的研磨技術和精密的控制系統(tǒng),確保減薄加工的高精度和一致性。厚度在線測量重復精度可達±0.001 mm,滿足高精度加工需求。
全自動化:配備全自動上、下片系統(tǒng),實現(xiàn)晶圓從取片到加工完成的全自動化流程,減少人工干預,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
兼容性好:可磨削各類半導體材料,適應2-12英寸晶圓減薄,滿足不同尺寸和材料的加工需求。
功能全面:具備自動厚度測量、多段研削程序、超負載等待等功能,可根據(jù)不同工藝需求進行靈活設置和調(diào)整。
綜上所述,全自動單軸減薄機以其高精度、全自動化、兼容性好、功能全面和高效能等特點,在半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域發(fā)揮著重要作用。隨著科技的進步和市場需求的增長,全自動單軸減薄機將繼續(xù)保持地位,并不斷推動相關行業(yè)的發(fā)展。
4 設備參數(shù):
項目 | IVG-2040 | IVG-3040 |
大晶圓尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
砂輪規(guī)格 | ?203(OD)mm | ?303(OD)mm |
砂輪軸功率 | 6.0kW | 9.5kW |
砂輪軸轉速范圍 | 0~6000 RPM | 0~4000 RPM |
工作臺轉速 | 0~380 RPM | 0~380 RPM |
Z軸進給速度 | 0.1~1000 um /sec | 0.1~1000 um /sec |
厚度在線測量重復精度 | ±0.001 mm | ±0.001 mm |
厚度在線測量范圍(OMM) | 0-4800um | 0-4800um |
全自動上下片系統(tǒng) | 有 | 有 |
NCG非接觸實時測厚系統(tǒng) | 可選配 | 可選配 |
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