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IVG-2040/3040 --全自動單軸減薄機

簡要描述:全自動單軸減薄機是一款高精度、高效率的研削設備,專為半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域設計。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 173

詳細介紹

1 產(chǎn)品概述:

全自動單軸減薄機是一款高精度、高效率的研削設備,專為半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域設計。該設備集成了全自動上、下片系統(tǒng),采用先進的晶圓機械手取片技術,結合自動對中、清洗、干燥功能,實現(xiàn)了從盒到盒、干進干出的全自動減薄拋光研削加工流程。全自動單軸減薄機以其性能和廣泛的應用領域,在現(xiàn)代精密制造領域中占據(jù)重要地位。

 

2 設備用途:

全自動單軸減薄機的主要用途包括:

  1. 半導體制造:在半導體制造過程中,對晶圓進行精確減薄,以滿足后續(xù)工藝對晶圓厚度的嚴格要求。

  2. 硅片加工:對硅片進行高精度研削,調(diào)整硅片厚度,提高硅片的質(zhì)量和加工效率。

  3. 光學材料處理:在光學材料制備過程中,對材料進行精確減薄,以滿足光學元件對材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。

  4. 薄膜材料制備:在薄膜材料制備領域,全自動單軸減薄機可用于對薄膜進行精確控制厚度的研削加工。

3. 設備特點

全自動單軸減薄機具有以下顯著特點:

  1. 高精度:采用先進的研磨技術和精密的控制系統(tǒng),確保減薄加工的高精度和一致性。厚度在線測量重復精度可達±0.001 mm,滿足高精度加工需求。

  2. 全自動化:配備全自動上、下片系統(tǒng),實現(xiàn)晶圓從取片到加工完成的全自動化流程,減少人工干預,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

  3. 兼容性好:可磨削各類半導體材料,適應2-12英寸晶圓減薄,滿足不同尺寸和材料的加工需求。

  4. 功能全面:具備自動厚度測量、多段研削程序、超負載等待等功能,可根據(jù)不同工藝需求進行靈活設置和調(diào)整。

綜上所述,全自動單軸減薄機以其高精度、全自動化、兼容性好、功能全面和高效能等特點,在半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域發(fā)揮著重要作用。隨著科技的進步和市場需求的增長,全自動單軸減薄機將繼續(xù)保持地位,并不斷推動相關行業(yè)的發(fā)展。

4  設備參數(shù):

項目

IVG-2040

IVG-3040

大晶圓尺寸

8英寸

12英寸

砂輪規(guī)格

?203(OD)mm

?303(OD)mm

砂輪軸功率

6.0kW

9.5kW

砂輪軸轉速范圍

0~6000 RPM

0~4000 RPM

工作臺轉速

0~380 RPM

0~380 RPM

Z軸進給速度

0.1~1000 um /sec

0.1~1000 um /sec

厚度在線測量重復精度

±0.001 mm

±0.001 mm

厚度在線測量范圍(OMM

0-4800um

0-4800um

全自動上下片系統(tǒng)

NCG非接觸實時測厚系統(tǒng)

可選配

可選配





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