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光學(xué)輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

透射電鏡TEM 介紹： 1. 配備了高靈敏度sCMOS相機(jī)、超廣視野的蒙太奇系統(tǒng)以及光學(xué)顯微鏡圖像的聯(lián)動(dòng)功能，是一款新型的高通量、高分辨率 的120kV透射電子顯微鏡 2. TEM分辨率 (nm)：0.14 3. 加速電壓：10 ～ 120kV

聚焦離子束系統(tǒng)FIB是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)離子槍加速，聚焦后作用于樣品表面，應(yīng)用于：產(chǎn)生二次電子信號(hào)取得電子像，此功能與SEM相似，用強(qiáng)電流離子束對(duì)表面原子進(jìn)行剝離,以完成微、納米級(jí)表面形貌加工，通常是以物理濺射的方式搭配化學(xué)氣體反應(yīng)，有選擇性的剝除金屬，氧化硅層或沉積金屬層。

掃描電鏡SEM簡(jiǎn)介：FE-SEM獲得的圖像分辨率高，信息豐富，樣品處理相對(duì)簡(jiǎn)單，并且它可以觀察、測(cè)量并分析樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu)，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生命科學(xué)、材料等領(lǐng)域。