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探針臺 簡介: 一、應(yīng)用:主要應(yīng)用于晶圓、芯片、器件、封裝等半導(dǎo)體制程測試環(huán)節(jié)。 二、類型:分析直流、射頻、高壓、毫米波、太赫茲、硅光測量、芯片級測量、定制化等 三、概況:1. 樣品尺寸:碎片~12英寸 2. 自動化:手動、半自動、全自動
它是利用陰極射線管產(chǎn)生高能量電子與金屬靶撞擊,在撞擊過程中,因電子突然減速,其損失的動能會以X-Ray形式放出。而對于樣品無法以外觀方式觀測的位置,利用其穿透不同密度物質(zhì)后光強度的變化,產(chǎn)生的對比效果可形成影像,即可顯示出待測物的內(nèi)部結(jié)構(gòu),進而可在不破壞待測物的情況下觀察待測物內(nèi)部有問題的區(qū)域。
Comet Yxlon FF35 CT X射線系統(tǒng)是一種創(chuàng)新的多功能高分辨率CT系統(tǒng) ,用于研發(fā)和質(zhì)量保證領(lǐng)域。FF35 CT 符合 SEMI® 的嚴苛標準(包括 SEMI® S2-0818 和 SEMI® S8-0218 危險和安全標準)并通過了相應(yīng)的認證。
X射線衍射儀XRD 產(chǎn)品概述: 智能X射線衍射儀SmartLab系列,可以廣泛應(yīng)用于各種材料結(jié)構(gòu)分析的各個領(lǐng)域。可以分析的材料包括:金屬材料、無機材料、復(fù)合材料、有機材料、納米材料、超導(dǎo)材料??梢苑治龅牟牧蠣顟B(tài)包括:粉末樣品、塊狀樣品、薄膜樣品、微區(qū)微量樣品。
探針式輪廓儀/臺階儀技術(shù)優(yōu)勢:1. 每次掃描數(shù)據(jù)點:最多可達120.000數(shù)據(jù)點2. 最大樣品厚度:50mm(2英寸)3. 最大晶圓尺寸:200mm(8英寸)4 臺階高度重現(xiàn)性:4A,1sigma在1um臺階上5. 垂直范圍:1mm(0.039英寸)6.垂直分辨率:最大1A (6.55um垂直范圍下)