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laurell的H6-23型的勻膠機結(jié)構(gòu)緊湊，具有優(yōu)良的功能，設(shè)計為最容易安裝在手套箱中的旋涂機。這款 650 系列 HL 涂布機系統(tǒng) 將 可容納最大 150mm 晶圓和 5 英寸 × 5 英寸 （127mm×127mm）基板， 最大轉(zhuǎn)速為 12,000 RPM （基于ø00mm硅片）。

H6-8型勻膠機機結(jié)構(gòu)緊湊，具有優(yōu)良的功能，設(shè)計為最容易安裝在手套箱中的旋涂機。這款 650 系列 HL 涂布機系統(tǒng) 將 可容納最大 200mm 晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 （178mm×178mm）基板， 最大轉(zhuǎn)速為 12,000 RPM （基于100mm硅片）。

用于 5G、光子學和 CMOS 的 Propel 300mm GaN MOCVD 系統(tǒng) 全自動單晶圓簇系統(tǒng)可在 300 毫米基板上生產(chǎn) 5G 射頻、光子學和高級 CMOS 器件。

Propel HVM GaN MOCVD 系統(tǒng)，用于電源、5G 射頻和光子學，單晶圓反應(yīng)器技術(shù)為電源、5G 射頻和光子學應(yīng)用提供高效、高質(zhì)量的氮化鎵基器件

用于電池、太陽能和柔性電子產(chǎn)品的功能性原子層沉積涂層。 Genesis ALD 是涂布任何卷筒格式基材以及多種功能應(yīng)用的理想選擇。

適用于光電應(yīng)用的 Lumina AS/P 金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) 系統(tǒng)