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詳細介紹
1. 產品概述
SES系列 8英寸多片硅外延系統為單腔多片式硅外延設備，適用于4、5、6、8英寸的硅外延工藝。SES系列反應腔室采用多片平板式的結構，配合感應加熱的方式實現高質量的外延薄膜生長，適用于厚度5-150µm范圍的外延工藝，精確可調N型、P型摻雜。該設備智能化人機交互設計與高效的安全互鎖保障了系統安全和穩(wěn)定。
2. 設備用途/原理
SES系列 8英寸多片硅外延系統，適用于 5-150 微米范圍的硅外延工藝，先進的感應加熱和氣流場技術提供了優(yōu)良穩(wěn)定的工藝性能，多片平板式設計，高容載量，自動化程度高、產能高、低運營成本。
3. 設備特點
晶圓尺寸 4、5、6、8 英寸，適用材料 硅，適用工藝 N&P 硅外延，適用域 科研、集成電路。
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