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簡要描述:APS系列 感應式碳化硅長晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
1. 產(chǎn)品概述
APS系列 感應式碳化硅長晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。
2. 設備用途/原理
APS系列 感應式碳化硅長晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。創(chuàng)新的結構設計,提供高純材料生長能力。智能的運行 / 監(jiān)控系統(tǒng),適于長時間 / 高溫 / 低壓工藝,拓寬高質量 / 大規(guī)模晶體生長窗口。包含多款輔助設備:大產(chǎn)能原料合成爐、晶錠退火爐、氮化鋁長晶爐及 其他定制化設備。
3. 設備特點
晶體尺寸 6、8 英寸,加熱方式 感應加熱,適用材料 碳化硅、氮化鋁,適用工藝 物理氣相輸運法(PVT 法),適用域 科研、化合物半導體。
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