概要

UV-1是一款緊湊型臺(tái)式紫外線臭氧清洗機(jī)。該系統(tǒng)將紫外線照射、臭氧和平臺(tái)加熱結(jié)合在一起，溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、GaAs、InP、SiC）、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

· 最大加工尺寸為?100 mm（4英寸）。

· 加熱階段加快了清洗速度，實(shí)現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。

· 緊湊，使用最小的臺(tái)式空間

· 簡(jiǎn)單，在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。

· 柔軟、干燥的工藝不會(huì)對(duì)基材造成電損傷。

· 蓋子聯(lián)鎖保證了當(dāng)蓋子打開時(shí)，系統(tǒng)無(wú)法運(yùn)行。

· 臭氧催化劑裝置，用于將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

· 安全性能自動(dòng)N?凈化循環(huán)、加熱級(jí)保險(xiǎn)絲保護(hù)、臭氧洗滌器和緊急停止開關(guān)。

應(yīng)用

· 塑料包裝和引線框架的表面清潔。

· 復(fù)合半導(dǎo)體(GaN、GaAs、InP和SiC)的表面清洗。

· 表面改性（潤(rùn)濕性和附著力的改善

· 表面氧化(薄氧化層沉積)

· 光阻劑的灰化、剝離和除塵。

· 清除有機(jī)污染物

· 紫外線固化