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簡要描述：UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機。通過滑動抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合，可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導體（GaN、SiC、GaAs、InP）、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。
產品型號：UV-300H廠商性質：經銷商更新時間：2024-09-06訪 問 量： 239詳細介紹
紫外線臭氧清洗機 UV-300 200 - 300 nm/min的高灰化率。
UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機。通過滑動抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合，可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導體（GaN、SiC、GaAs、InP）、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。
大加工尺寸為?300mm（?12英寸）。
200 - 300 nm/min的高灰化率。
加熱階段加快了清洗速度，實現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。
通過調整平臺和石英擴散板之間的間隙，可以提高基板的均勻性。
緊湊，使用小的潔凈室空間
簡單，在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。
柔軟、干燥的工藝不會對基材造成電損傷。
抽屜聯(lián)鎖保證了當抽屜打開時系統(tǒng)無法工作。
內置臭氧催化劑裝置，可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。
塑料包裝和引線框架的表面清潔。
復合半導體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。
表面改性（潤濕性和附著力的改善
表面氧化(薄氧化層沉積)
光阻劑的灰化、剝離和除塵。
清除有機污染物
紫外線固化
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