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紫外線臭氧清洗設(shè)備

簡要描述：UV-300HC紫外線臭氧清洗設(shè)備是一款高性能的盒式裝載UV臭氧清洗機，用于生產(chǎn)。這個行業(yè)先的系統(tǒng)有2個裝載盒，可以達到200-300nm/min的高灰化率。該系統(tǒng)利用紫外線照射、高濃度臭氧和可控階段加熱的組合，溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、SiC、GaAs和InP）、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。

  • 產(chǎn)品型號：UV-300HC
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-09-04
  • 訪  問  量： 256

詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

UV-300HC是一款高性能的盒式裝載UV臭氧清洗機，用于生產(chǎn)。這個行業(yè)先的系統(tǒng)有2個裝載盒，可以達到200-300nm/min的高灰化率。該系統(tǒng)利用紫外線照射、高濃度臭氧和可控階段加熱的組合，溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、SiC、GaAs和InP）、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。

2. 設(shè)備用途/原理

大加工尺寸為?240 mm (?3" x 5, ?4" x 3, ?8" x 1)200 - 300 nm/min的高灰化率。加熱階段加快了清洗速度，實現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。通過調(diào)整平臺和石英擴散板之間的間隙，可以提高基板的均勻性。緊湊，使用小的潔凈室空間簡單，在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。柔軟、干燥的工藝不會對基材造成電損傷。內(nèi)置臭氧催化劑裝置，可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

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