產品分類
Product Category詳細介紹
1.產品概述:
高真空磁控濺射粉末顆粒表面薄膜沉積系統(tǒng)可以在粉末顆粒狀樣品表面鍍制金屬膜、磁性膜、絕緣膜等,采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。
2.設備用途:
可廣泛應用于大院校、科研院所的粉末樣品表面鍍制薄膜材料的科研項目。
3.真空室結構:
圓筒形側開門,通常采用不銹鋼材質制造,具備良好的密封性能
真空室尺寸:Ф450x550mm
限真空度:≤8.0E-5Pa
沉積源:永磁靶2套,φ3英寸
樣品尺寸,溫度:小型粉末顆粒狀樣品
占地面積(長x寬x高):約1米x1.8米x2米
電控描述:全自動設備電控系統(tǒng)和控制系統(tǒng):采用計算機控制,具有液晶顯示屏、鼠標鍵盤操作界面,支持自動控制和手動控制兩種方式,操作簡便,并可實現真空系統(tǒng)及工藝過程的全自動化操作。
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