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深硅刻蝕機(jī)

簡要描述:深硅刻蝕機(jī)HSE P300主要用于12英寸硅刻蝕。采用Cluster結(jié)構(gòu)布局,能夠減小占地,提升產(chǎn)能。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、灰區(qū)部件、電源柜等組成。可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化地上下料及自動(dòng)工藝。HSE M200主要用于4/6/8英寸深硅干法刻蝕工藝??梢耘渲檬謩?dòng)及自動(dòng)傳輸系統(tǒng)。產(chǎn)品配置高密度雙立體等離子體源,中心邊緣進(jìn)氣,快速氣體切換,低頻脈沖下電極系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高速、高深寬比及極小的側(cè)壁粗糙度。

  • 產(chǎn)品型號:HSE系列
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-04
  • 訪  問  量: 612

詳細(xì)介紹

1.產(chǎn)品概述:

HSE M200主要用于4/6/8英寸深硅干法刻蝕工藝??梢耘渲檬謩?dòng)及自動(dòng)傳輸系統(tǒng)。產(chǎn)品配置高密度雙立體等離子體源,中心邊緣進(jìn)氣,快速氣體切換,低頻脈沖下電極系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高速、高深寬比、高均勻性及極小的側(cè)壁粗糙度。HSE P300主要用于12英寸硅刻蝕。采用Cluster結(jié)構(gòu)布局,能夠減小占地,提升產(chǎn)能。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、灰區(qū)部件、電源柜等組成??蓪?shí)現(xiàn)自動(dòng)化地上下料及自動(dòng)工藝。

2.設(shè)備應(yīng)用

  HSE M200

晶圓尺寸:

8英寸及以下

適用材料:

硅、SOI、SOG

適用工藝:

深硅刻蝕

適用領(lǐng)域:

微機(jī)電系統(tǒng)、科研領(lǐng)域

 

HSE P300

晶圓尺寸:

8/12英寸兼容

適用材料:

硅、氧化硅、氮化硅

適用工藝:

深槽刻蝕、深孔刻蝕、扇出型封裝硅載體刻蝕、露銅刻蝕等

適用領(lǐng)域:

先進(jìn)封裝

 

 3.設(shè)備特點(diǎn)

HSE M200

雙等離子源和雙區(qū)進(jìn)氣,保證高刻蝕均勻性和高刻蝕速率

兼容性強(qiáng),工藝種類多樣,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,系統(tǒng)可靠性強(qiáng)

靈活的系統(tǒng)配置,適合研發(fā)、中試線、大規(guī)模生產(chǎn)線的不同應(yīng)用

低擁有成本和運(yùn)營成本

HSE P300

使用立體高密度等離子源,大幅提升刻蝕速率

雙等離子源和雙區(qū)進(jìn)氣,確保較高的均勻性

全自動(dòng)化軟件控制,高產(chǎn)能

低擁有成本和運(yùn)營成本


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