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MARS iCE120 多片碳化硅外延系統(tǒng),產(chǎn)能大,6 英寸運(yùn)營(yíng)成本低,薄膜和厚膜外延兼容,工藝穩(wěn)定性高。
Hesper I E430R 12英寸單片減壓硅外延系統(tǒng),優(yōu)異的氣流場(chǎng)和加熱場(chǎng)設(shè)計(jì)提供優(yōu)良的工藝性能。
Hesper E230A 12英寸單片常壓硅外延系統(tǒng),優(yōu)異的氣流場(chǎng)和加熱場(chǎng)設(shè)計(jì)提供優(yōu)良的工藝性能。
Hesper Ⅱ E630R plus 12英寸減壓選擇性外延系統(tǒng),多區(qū)紅外加熱協(xié)同激光微區(qū)補(bǔ)償,溫場(chǎng)均勻可控。
Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途,友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效,具有單腔和多腔兩種機(jī)型,可滿足不同客戶需求。